真空高低温探针台是专为微纳电子器件、半导体材料和量子材料研发设计的精密测试设备。

真空环境

通过分子泵+机械泵 组合抽取腔体内气体，实现 高真空（<10⁻⁶ mbar），避免样品氧化、水汽干扰。

温度控制

低温：通过液氦/液氮制冷或闭循环制冷机（如Gifford-McMahon）实现 1.5K~300K 极低温。

高温：电阻加热器或帕尔贴元件升温至 500K 以上。

信号测量

金属探针（钨/铍铜）接触样品电极，通过 源表（SMU）、网络分析仪（RF测试） 等设备采集电学信号（IV/CV/阻抗等）。

二、核心特点

极端环境控制

温区覆盖mK级至500K+，真空度达10⁻⁶~10⁻⁸ mbar，满足超导、拓扑材料等研究需求。

高精度测试

电动探针定位精度±1μm，支持高频（67 GHz）和大电流（1A）测试。

多场协同

可选配磁场（±9T）和光学窗口（石英/ZnSe），实现光电-磁电联合测量。

智能化操作

集成自动化软件（如LabVIEW），控制温度、探针移动及数据采集。

三、系统组成

真空系统

分子泵+机械泵组，维持无氧干燥环境。

温控模块

液氦杜瓦或闭循环制冷机，提供稳定低温；电阻加热实现高温。

探针与样品台

钨/铍铜探针，抗热漂移样品台兼容4"/6"晶圆。

信号采集系统

源表、锁相放大器等，确保低噪声电学测量。

扩展接口

光学窗口、磁场线圈等，支持多物理场实验。

四、应用领域

半导体器件

晶体管、存储器的低温可靠性测试。

量子材料

超导、拓扑绝缘体的输运行为研究。

光电技术

红外探测器、太阳能电池的光电响应分析。

微纳制造

MEMS/NEMS器件的热机械性能表征。

科研与工业

高校、研究所及芯片企业的前沿研发与质量控制。